1.放電路徑短，可以有效減少反應(yīng)物的沉積。與其他真空泵相比，干式螺旋真空泵由于泵送過程中氣體傳輸路徑較短，不太容易沉積反應(yīng)物。
2.線性密封好，泵送性能好，專利轉(zhuǎn)子線性密封，轉(zhuǎn)子密封好，較大嚙合間隙下泵送效果快。由于嚙合間隙大，泵的泵壓不易因工藝氣體沉積而卡死，因此轉(zhuǎn)子不易因磨損而更換。
開山干式螺桿真空泵是利用一對變螺距螺桿在泵殼內(nèi)高速同步反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的抽排氣裝置。兩個螺桿通過精密動平衡調(diào)整，由軸承支撐，安裝在泵殼內(nèi)，兩者之間有一定間隙。因此，泵工作時，它們之間沒有摩擦，運(yùn)行穩(wěn)定，噪音低，工作室不需要潤滑油。因此，變螺距干式螺桿泵具有較大的泵送能力，并且能夠泵送掉包含大量水蒸氣和灰塵的過程材料。
其主要性能特點(diǎn):
1.原泵室無摩擦磨損，泵體之間有一定間隙。
2.泵運(yùn)轉(zhuǎn)時，機(jī)體噪音低，泵送能力大。
3.結(jié)構(gòu)簡單緊湊，由旋轉(zhuǎn)反向螺桿、泵體、端蓋、密封等部件組成，簡單可靠，在使用壽命長的情況下幾乎不需要定期維護(hù)。
4.干式運(yùn)行，無任何工質(zhì)，因此無油污，無污水排放，節(jié)能減排效果顯著。