氮是惰性氣體，常用于高溫處理各種材料或零件的保護(hù)氣氛。為此，應(yīng)把氮?dú)庵械碾s質(zhì)（氧和水汽）清除到最低水平。
一般來(lái)說(shuō)，由制氮機(jī)制取的氮?dú)庵泻趿啃∮?.5%時(shí)，宜采用脫氧劑直接除氧，含氧量為0.5-3%時(shí)，宜采用催化劑加氫除氧，含氧量大于3%時(shí)可采用分級(jí)催化除氧。因?yàn)榈獨(dú)庵泻趿窟^(guò)高，按化學(xué)計(jì)量所需的氫氣量大，一次全部加入時(shí)，可能有爆炸的危險(xiǎn)；且反應(yīng)中放出的熱量較大，易燒壞催化劑。因此，必須嚴(yán)格控制加氫量進(jìn)行分級(jí)除氧。原料氮?dú)庵泻趿窟^(guò)高時(shí)，亦可用部分純氮稀釋原料氣，使混合氣體中含氧量小于3%再進(jìn)行加氫催化除氧。
采用脫氧劑清除雜質(zhì)氧的典型工藝流程：氮?dú)饨?jīng)催化除氧器（除去氧）、水冷卻器和吸附干燥器（除去水汽）、氣體過(guò)濾器（除去塵埃顆粒）后，即得純氮產(chǎn)品。
采用加氫催化除氧的典型工藝流程：首先在氮?dú)庵屑舆m量氫氣（添加量為氮?dú)庵泻趿康亩兑陨希?，然后通過(guò)催化除氧器（除去氧）、水冷卻器和吸附于燥器（除去水汽）、氣體過(guò)濾器（除去塵埃粒）后，即得純氮產(chǎn)品。
當(dāng)?shù)獨(dú)庵泻趿枯^大（大于3%），可采用分級(jí)加氫催化除氧工藝，氮?dú)庠谶M(jìn)入催化除氧器前，需要嚴(yán)格控制加氫量，通過(guò)催化除氧器1（一次除氧），再加入少量氫氣進(jìn)入催化除氧器2進(jìn)行二次除氧。
如果原料氮?dú)庵泻踺^高，對(duì)純氮又要求不許有過(guò)量氫氣存在。此時(shí)，氮?dú)饧兓b置采用先加氫催化除氧，再用活性氧化銅等除氫的方法純化氮?dú)?，其典型的工藝流程為：在原料氮?dú)庵懈鶕?jù)氧的含量，添加稍為過(guò)量的氫（按化學(xué)計(jì)量）后通過(guò)催化除氧器除氧，再通過(guò)電加熱器和氧化反應(yīng)除去氮?dú)庵械倪^(guò)量氫。常用的脫氫劑除活性氧化銅外，也可用銀分子篩等。